Базовое давление:

 2Х10-7 Торр

 Среднее время откачки:

 90 минут (откачка сухого N2)

 Насосы:

 Крионасос, механический масляный пластинчато-роторный насос

 Ловушка:

 Окись алюминия

 Камера:

 Охлаждаемая водой, внутренний диаметр 18”, высота 20”, нержавеющая сталь

 Смотровые окна:

 Два смотровых окна, внутренний диаметр  4”, с заслонками

 Нижняя пластина:

 Внешний диаметр 22”, толщина 1”, нержавеющая сталь

 Верхняя пластина:

 Внешний диаметр 22”, толщина 1”, нержавеющая сталь

 Клапаны:

 Электро-пневматические, нержавеющая сталь

 Мишени электронно-лучевой пушки:

 4Х7 куб. см

 Электропитание электронно-лучевой пушки:

 6 кВт

 Тлеющий разряд:

 Переменный ток, самоограниченный блок питания

 Нагреватель:

 Кварцевые лампы 1,4 кВт

 Датчики:

 Ионный датчик; термопарный датчик; Пирани

 Контроль толщины:

 Maxtek 100

 Управление:

 Встроенный ПЛК

 Стойка:

 Алюминиевые профили

Подъемники (нижняя и верхняя пластины):

Электрические подъемники с приводом от ходового винта, с вакуумной блокировкой, с верхними и нижними концевыми выключателями