Описание:

Модель 7500 установки травления компании Nordiko представляет собой свежий взгляд на систему травления широким ионным пучком.

Ускоряющая система ионного пучка в данной установке подстраивается под специальные требования процесса каждого отдельного заказчика для того, чтобы получить наибольшую выгоду от его использования.

Продуктом затраченных усилий при разработке данной системы явилась высочайшая степень повторяемости полученных результатов при травлении образцов, при максимальной однородности травления по всей площади подложек.

Система снабжена двумя нейтрализаторами ионной компоненты пучка в виде «плазменных мостов», может использовать автоматическое устройство подачи пластин из кассеты, по стандарту SEMI, и сконфигурирована для работы с пластинами до 200 мм в диаметре или с подложками прямоугольной формы со сторонами длиной 225 мм.

Опционально установка может использовать устройство определения точки окончания процесса травления по анализу вторичных ионов (SIMS).

Манипулятор подложек водоохлаждаемый с функцией осевого вращения подложек и возможностью изменения угла его наклона по отношению к ионному пучку.